常見的真空泵種類有哪些?
發(fā)布時間:
2022-07-08
真空泵種類有很多,按工作原理可以分為:氣體輸送泵和氣體捕集泵;按真空度可以分為:粗真空度、高真空度和超高真空度。 按工作原理分: 一、氣體輸送泵: 1、變?nèi)菡婵毡? 1)往復(fù)式 2)旋片式: (1)油封式:旋片、滑閥式、定片式、余擺線式、多室旋片式; (2)干式螺桿; (3)液環(huán)式; (4)羅茨真空泵; 2、動量傳輸泵 1)分子真空泵:牽引分子泵、渦輪分子泵、復(fù)合分子泵; 2)噴射真空泵:液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵; 3)擴散泵:自凈化擴散泵、分餾式擴散泵; 4)擴散噴射泵; 5)離子輸運泵; 二、氣體捕集泵 1、吸附泵; 2、吸氣劑泵; 3、吸氣劑離子泵:蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵; 4、低溫泵;
真空泵種類有很多,按工作原理可以分為:氣體輸送泵和氣體捕集泵;按真空度可以分為:粗真空度、高真空度和超高真空度。
按工作原理分:
一、氣體輸送泵:
1、變?nèi)菡婵毡?/p>
1)往復(fù)式
2)旋片式:
(1)油封式:旋片、滑閥式、定片式、余擺線式、多室旋片式;
(2)干式螺桿;
(3)液環(huán)式;
(4)羅茨真空泵;
2、動量傳輸泵
1)分子真空泵:牽引分子泵、渦輪分子泵、復(fù)合分子泵;
2)噴射真空泵:液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵;
3)擴散泵:自凈化擴散泵、分餾式擴散泵;
4)擴散噴射泵;
5)離子輸運泵;
二、氣體捕集泵
1、吸附泵;
2、吸氣劑泵;
3、吸氣劑離子泵:蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵;
4、低溫泵;
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